据前人Gupta的研究，读物Cl2转化为HCl的反应速率可达0.41× 10-6 molcm-2 s-1。
而CVD生长可通过调节生长化学过程更好地控制杂质的掺入，于让并通过各种工艺方法，从而能够提供适用于金刚石光电应用的高质量大尺寸单晶金刚石。所以，人生为实现大规模集成电路制造，高质量、大尺寸的金刚石单晶衬底的生长是至关重要的。
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金属铱Ir是目前唯一可实现高质量、于让大尺寸金刚石薄膜异质外延的衬底材料，但对于大多数应用而言，缺陷密度仍然很高。由于晶界散射和杂质耦合的影响，人生多晶金刚石波导的传播损耗将更高，而多晶金刚石中的晶界将导致单光子源信号的背景噪声更高。
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